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最初的真空計是由托里拆利制作的一端封閉充滿水銀的細長玻璃管發明的。根據測量的真空度范圍和使用環境，現在最常使用的真空計有電容式隔膜真空計、熱電偶真空計、熱陰極電離真空計和冷陰極電離真空計。


 
　　這幾種真空計利用了不同的物理現象，其中電容式隔膜真空計利用的是力，熱電偶真空計利用的是熱傳導，電離真空計利用的是真空放電。


　　選用真空計時應該注意以下事項：


　　一：在設備要求的壓強范圍內，真空計是否有足夠的測量精度；


　　二：被測氣體是否會對真空計造成損傷；


　　三：真空計是否會對被測真空環境造成影響；


　　四：真空計所測壓強是全壓還是分壓，是否已校準，是否與氣體種類有關；


　　五：真空計能否實現連續測量，數值指示及反應時間如何；


　　六：真空計的穩定性、可靠性、壽命。